021-34675723

028-64146060

产品中心

高分辨率检查机

产品介绍：


1. 开发 0.8um, 0.4um的 高分辨率检查


2. 开发PHOTO MASK 检查以及 CDU 测定 


3. 适用于高分辨率检查的高速Review的开发


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